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繁花系列固晶平臺

繁花系列固晶平臺

  • 產(chǎn)品描述
  • 性能參數(shù)
  • 行業(yè)應(yīng)用
  • 1、高度集成,模塊化設(shè)計,結(jié)構(gòu)超級簡單,鋼軌底座一體研磨成型,剛性強,精度穩(wěn)定性高,一致性好。
    2、各項機械精度均由高精密設(shè)備加工保證,有效避免誤差累積及人為組裝能力因素的影響。
    3、電機性能出眾,搭配使用德康威爾品牌驅(qū)動器,在3G加速度的情況下,可實現(xiàn)2ms整定到2個脈沖,適用于高速度、高加速度、高頻率運行工況,承諾在實現(xiàn)5ms整定到5個脈沖的條件要求下,500Hz以內(nèi)不存在的共振點。
    4、大批量生產(chǎn)時,電機性能的一致性高,可以實現(xiàn)一套參數(shù)大批量復(fù)制,無需對各個機臺單獨精調(diào)參數(shù)。

    5、四條不銹鋼導(dǎo)軌作為導(dǎo)向,對晶圓盤等負載的偏心或懸臂安裝形成天然的穩(wěn)定優(yōu)勢,極易實現(xiàn)機臺性能要求。

    6、德康威爾擁有本繁花系列平臺的全部知識產(chǎn)權(quán),使用安心。
    7、價格低廉,平臺標配著名品牌高性能光柵尺讀數(shù)頭,且包含德康威爾品牌驅(qū)動器,批量價格僅為4699.00元/臺起售。

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    繁花系列固晶平臺

    負載::1~5kg

    有效行程:60~300mm

    重復(fù)精度:±2μm

    速度:1m/s

    加速度:3G

    整定時間:≤5ms

    行走平面度:≤60μm

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